استخدام تقنية ترسيب البلازما بالقوس الكاثودي. ترسيب البلازما بالقوس الكاثودي هي تقنية جديدة نسبيًا لترسيب الأغشية الرقيقة تشبه في العديد من الطرق الطلاء الأيوني. مميزاتها: ارتفاع معدل التأين في تدفق الجسيمات المنبعثة، كما أن لهذه الأيونات المتأينة طاقة حركية عالية (40-100eV).
العديد من مزايا ترسيب الشعاع الأيوني، مثل تحسين الالتصاق، وزيادة كثافة الحالات، والتفاعل العالي لتشكيل الفيلم المركب، تنعكس جميعها في ترسيب بلازما القوس الكاثودي. يتميز ترسيب البلازما بالقوس الكاثودي بمزاياه الفريدة، مثل القدرة على الترسيب على ركائز أكثر تعقيدًا، مع معدل ترسيب مرتفع، وتوحيد طلاء جيد، ودرجة حرارة منخفضة للركيزة، وسهولة تحضير المركبات أو السبائك بنسب كيميائية مثالية. .
تتبخر مادة الكاثود بعملية التبخر بسبب كثافة التيار العالية، ويتكون التبخر الناتج من إلكترونات وأيونات وذرات وجسيمات الطور الغازي المركزي. عند نقطة قوس الكاثود، تتأين المادة على الفور تقريبًا. تنبعث الأيونات في اتجاه عمودي تقريبًا على سطح الكاثود. عندما تصطدم أيونات الكروم عالية الطاقة بالنيتروجين، فإنها ستخضع على الفور لتفاعل كيميائي وتصبح غازية. جزيئات نيتريد الكروم.
