تختلف طرق إنتاج نيتريد الفيروسيليكون. بالإضافة إلى محتوى الشوائب في مادة الفيروسيليكون الخام نفسها، تتم إضافة مواد رابطة مختلفة أثناء عملية الإنتاج، والتي ستجلب حتماً شوائب مختلفة. عامل الربط الشائع الاستخدام هو القطران. عند استخدام القطران كعامل ربط، فإن الكربون والكبريت المتبقي يكون مرتفعًا نسبيًا. عند استخدام عوامل ربط أخرى، يتم التحكم بشكل عام في إجمالي كمية الشوائب الواردة في حدود 1%.
تستخدم عملية إنتاج نيتريد الفيروسيليكون الفيروسيليكون كوزن أصلي لإنتاج منتجات مؤهلة تحتوي على 30% نيتروجين مع زيادة إجمالية في الوزن بنسبة 50% (أي: 30% نيتروجين + 2.5% أكسجين + 1% بقايا مادة رابطة ). تبلغ محتويات الألومنيوم والكالسيوم المحسوبة 1.33% و1% على التوالي. الحدود العليا للألمنيوم والكالسيوم في المعيار هي 1.5% و1%. عملية إنتاج نيتريد الفيروسيليكون هي عملية ذات درجة حرارة عالية ولا تحتوي على رطوبة. أثناء معالجة المنتجات النهائية، يجب إغلاق المنتجات المؤهلة وتعبئتها لمنع امتصاص الرطوبة في الغلاف الجوي، لأن مسحوق نيتريد الفيروسيليكون يستخدم بشكل عام في المواد المقاومة للحرارة غير المرتبطة بالماء. وينص المعيار على أن H2O<0.1%.
